二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293747127 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是下一代晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在提供半導體基板最可靠、最高效的加工。該系統采用先進技術設計,在背面變薄、研磨、研磨和拋光的所有階段均提供卓越的性能。STRASBAUGH 6 DS-SP單元使用變速電動機提供高重復性和受控過程。它具有PLC控制機器，以確保在整個過程中保持所需的機器設置和過程參數。該工具可容納直徑在200毫米至300毫米之間的晶圓。它的傳送帶設計提供了剛性和準確性，以及低矮的足跡空間受限的環境。6DS-SP具有集成的交聯輸送機資產,可確保優化的基板加載和晶圓管理,從而提供高吞吐量。其工藝室采用全景直通設計,在進行清潔和其他維護任務時易於訪問。模型還裝備了位於加工室外的梳妝臺。這使操作員能夠在磨削過程之前方便地對磨削輪進行修整。混合研磨設備利用旋轉和行星運動創建振蕩路徑，以實現更高的研磨效率和均勻性。高效過濾系統消除了空氣中的顆粒，在過程中保護晶圓表面。此外,6個DS-SP系統附帶了一套全面的設置和監控工具。軟件套件包括高級流程控制、數據記錄、在線診斷和數據格式的報告。使用設備的通用流程參數數據庫可以進行實時流程控制,從而可以根據應用程序要求進行調整。該機還包括用於均勻性測量的3D激光表面圖。STRASBAUGH 6DS-SP晶圓研磨、研磨和拋光工具利用成熟的技術在半導體材料加工中提供可靠和可重復的結果。提供快速高效的基板加載和晶片管理、強大的電機加速度和受控工藝參數,是滿足高速加工要求的理想解決方案。