二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293754576 待售

ID: 293754576
CMP Polisher.
STRASBAUGH 6DS-SP是一種革命性的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足當今薄晶圓加工行業的嚴格需求,提供精密和高生產吞吐量。該系統結合了高速、低噪聲和表面光潔度以及低汙染和最小循環時間。STRASBAUGH 6 DS-SP的中心部件是其6軸計算機控制的磨頭,它利用獲得專利的「鱷魚」工具實現無與倫比的磨削和拋光體驗。多個高速研磨和拋光頭能夠滿足最苛刻的工藝要求。防護罩最大程度地減少了空氣中的汙染,封閉的密室創造了一個清潔、無黴和無顆粒的環境。6DS-SP可容納直徑從200 mm到300 mm的基板,因此適合各種薄片加工任務。該單元可以處理一系列令人印象深刻的基板,從矽片等剛性基板到玻璃、陶瓷、鋁等軟基板應用。集成測量機、在線粒徑測量、柔性脈沖技術保證了基板性能的最大化和可重復、一致的拋光效果。為保證準確性,6 DS-SP配備了高分辨率顯微鏡和隨附的視覺相機。顯微鏡,具有高達30倍的放大倍率,檢查拋光表面從任何角度高精度。視覺相機快速準確地捕捉和記錄基板表面的高清圖像,以確保性能恒定。配備PC控制功能齊全的觸摸屏,設置和編程都很快直觀。STRASBAUGH 6DS-SP配備了最先進的自動化技術以及集成的高級流程計算機和數據記錄功能,可提供晶圓處理性能的詳細視圖並幫助跟蹤流程趨勢。STRASBAUGH 6 DS-SP還提供了廣泛的安全功能,包括自動過載保護和對不安全條件立即做出反應的過程中斷工具。通過在傳統方法的一半時間內完成研磨和拋光任務,6DS-SP是那些希望在最短循環時間內獲得優越表面光潔度的人的首選。6 DS-SP具有卓越的功能集和用戶友好的設計,是滿足所有薄片加工需求的理想選擇。
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