二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293824915 待售

Strausbaugh STRASBAUGH 6DS-SP是為半導體工業設計的功能強大、用途廣泛的晶圓研磨、研磨和拋光設備。它是一個高速、全自動的系統,旨在為各種晶圓形狀和尺寸生產高精度曲面。這一單元提供了廣泛的應用可能性，從研磨，研磨和拋光各種晶片基板，如多晶矽，砷化氙等。STRASBAUGH 6 DS-SP是一種特別有效和高效的稀釋薄片的機器。該工具采用高速、多面主軸，配有金剛石輪子，在基板的所有側面同時研磨、研磨或拋光。該主軸垂直安裝在高剛度、低熱膨脹框架上,以最大程度地減少耗盡,並在過程周期中保持精度。主軸由帶有精密編碼器的伺服電機控制，提供動態速度控制和反饋，以確保研磨和拋光過程一致且可重復。此外,該資產還具有閉環流程控制功能,主要允許用戶指定流程的參數,並向控制器提供反饋,以確保遵循流程參數並實現所需的表面光潔度。主軸上的接近傳感器監視負載力,然後由控制器對其進行補償。這有助於產生兼容且可重復的表面光潔度結果。Strausbaugh 6DS-SP還包含多種內置安全功能,例如外殼互鎖保護和防止磨料汙染。此外，這款車型通過使用高精度、高效的金剛石車輪進行優化、高精度的主軸，設計為最大限度地減少熱膨脹和最小化加工時間。該設備兼容各種研磨、研磨、拋光系統，如激光加工、常規研磨、變薄、拋光系統等。此外,它還能夠處理厚度為150 μ m-6 μ m的晶片,其最大外徑為100 mm。Strausbaugh 6 DS-SP的設計目的是在保持精度、重復性和準確性的同時最大限度地提高生產效率。