二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293831063 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是用於半導體晶片高精度平面化和精加工的下一代晶片研磨、研磨和拋光設備。該系統用於對平面表面進行機械和化學拋光,使其達到光學質量規格,且整體表面地形較低。STRASBAUGH 6 DS-SP單元設計為在SiC、GaN和GaAs等多種奇特材料上提供峰谷粗糙度低至0.08 nm和超光滑表面光潔度的卓越性能。6DS-SP是一個多軸平臺，具有高架搬運機和八軸磨頭。這是結合了三區「負載鎖」設計和雙層磨頭與集成循環冷卻劑工具。每個研磨頭主軸采用獨特的夾緊機構，以確保晶片在加工過程中被精確地固定。在設計中加入了一個整體隔離機櫃，以減少資產的聲響以及機載和電氣噪聲。6 DS-SP的控制模型使用彩色觸摸屏和人機界面，方便操作。過程優化是通過實時數據采集設備實現的，該設備跟蹤表面地形、真空水平和夾緊力。此外,還使用SmartMove工具路徑優化器優化研磨、研磨和拋光過程。STRASBAUGH 6DS-SP能夠通過過程中的計量選項產生高度精確和可重復的結果。它用於測量當前曲面輪廓,確保應用正確的工藝參數,並允許在每個循環中改進地形的控制循環。此外，STRASBAUGH 6DS-SP促進的低皮棉環境最大限度地減少了顆粒汙染，從而提高了產品的最終可靠性。6DS-SP晶圓研磨、研磨和拋光系統是一個堅固可靠的平臺，可確保對各種材料進行一致的加工。該單元能夠在嚴格的公差範圍內制造高質量的半導體和其他元件,從而提高生產效率和成本效益。其創新的設計，高精度和先進的功能相結合，以滿足最艱難的過程要求。