二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293831632 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一種更精確的晶圓研磨、研磨和拋光的創新工具。該設備適用於6「和8」晶片，結合了CMP（化學機械平面化）、光學拋光和高強度研磨（HIG）工藝的最新技術，使兩個晶片表面的地形無論其特征位置如何都能均勻和可重復地去除。獨特的三通系統利用CMP和拋光工藝去除晶片表面的材料和HIG同時成形和平面化晶片。該單元易於集成到現有制造過程中,從而降低了成本,最大限度地減少了空間需求,並簡化了培訓。STRASBAUGH 6 DS-SP的CMP工藝基於一個可調節的壓區，減少了對地形的受力，提高了材料去除的精度。此外,該機器還使用以雙軸振蕩模式配置的旋轉介質和聚氨酯磨料,以提高生產率。聚氨酯磨料的數學產生的弧線有助於形成連續的、高度可重復的光潔度。6DS-SP的精密拋光工藝也有助於提高精度和重復性。預載單元對晶片表面施加均勻的力，從而更好地控制拋光效果，而固定器組件確保晶片不會受到汙染。此外,該工具還包括可調節的速度和可變的熱控制,從而可以更好地控制拋光過程。6 DS-SP資產的最終組成部分是高強度研磨工藝，有助於實現高精度和重復性。這一過程利用金剛石鍍層磨輪以25-30,000 RPM的組合來磨掉任何剩余的微米地形。STRASBAUGH 6DS-SP非常適合需要晶圓研磨和拋光精度和可重復性的制造應用和研究項目,並且在不犧牲性能的情況下提供了更小的占地面積和更低的擁有成本。通過將CMP、拋光和高強度磨削工藝的最新技術集成到單一的緊湊模型中,它提供了改進的晶圓表面,具有無與倫比的可重復性,從而獲得更高的產量和更高的利潤。