二手 STRASBAUGH 6DS-SP #293831748 待售
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ID: 293831748
晶圓大小: 6"
優質的: 2019
CMP Polisher, 6"
ENTEGRIS wafer carrier PA194‑60MB‑61C02
Dual‑lot processing capability with four internal cassettes (2 sender, 2 receiver)
2019 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP設備是一種自動晶圓研磨、研磨和拋光系統。它設計用於高精度樣品制備，可以加工直徑從2英寸（50.8毫米）到6英寸（152.4毫米）不等的材料。適用於廣泛的應用，包括光電子學、先進半導體器件、材料研究、MEMS和生物成像。STRASBAUGH 6 DS-SP包括多種功能,可提高樣品處理的準確性和一致性。具體來說，6位精密自旋級允許高重現性和快速樣品加載。此外,該單元還配有專門設計的研磨底板,以及帶有快速檢修夾的晶片托架和確保樣品在處理過程中不會移動的托架。還包括一個集成顯微鏡物鏡，可以用來在研磨時觀察樣品。6DS-SP臺機器配備了多種軟件和硬件選項,包括實時過程監控和配方管理,以及用於快速安全樣品加載的自動主軸除屑工具。自動研磨過程結合了三個不同的階段-研磨、研磨和拋光-依次進行,以達到高晶圓質量和均勻的表面光潔度。所有過程也都是高度可重復和可重現的，確保每次都有準確的樣品準備。該資產還配備了綜合過濾模型，防止灰塵顆粒和其他汙染物引入過程。過濾模塊包括一個一次性過濾筒、一個收集廢液的排水管，以及一個在每個循環後將基板幹燥的空氣幹燥機。這樣可以確保底物的清潔度,並提高成品的質量。6 DS-SP設備符合ESD和CSA標準,並符合環境法規。其噪聲水平低，可以連續運行模式運行，確保了可靠、幹凈的樣品制備過程。STRASBAUGH 6DS-SP系統是一種功能強大、用途廣泛的工具,可用於精確、一致的樣品研磨、研磨和拋光,適合廣泛的應用。
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