二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9181741 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一種全自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,可對多種材料進行一致、經濟高效的處理。STRASBAUGH 6 DS-SP專為在很小的占用空間內實現最大吞吐量而設計,它利用強大的組件、精確的計算機指導和先進的過程控制算法來實現高達每小時15晶圓的吞吐量。該系統非常適合激光加工MEMS材料、半導體和太陽能電池以及光電元件等應用。6DS-SP包括一個手動加載站,它與可選的自動晶圓映射掃描儀集成在一起,可實現最佳的地下均勻性和高達0.1微米的高精度測量。該控制軟件基於最新一代的高性能FEI™（聚焦靜電儀器）技術，該技術能夠根據需要管理晶圓的形狀、尺寸和幾何形狀以及應用的拋光工藝參數。該單元還具有一個六軸強制振動平臺，能夠在減少熱梯度的情況下進行小規模處理。該平臺采用直觀、用戶友好的界面進行控制,能夠在所有軸上將運動控制小至2弧秒,並具有Lap-on-Diamond拋光功能。6 DS-SP還配備了二維過程中CCD相機，用於實時表面和地下材料評估。它提供實時數據以反饋到控制子系統中。這款易於操作的工具配備了多種安全功能，如緊急停止按鈕、飛濺報警器，以及用於輕松修改參數的快速釋放組件。此外,STRASBAUGH 6DS-SP使用安全組件,並符合CE （Compite Europeenne）安全標準。它還包括基於軟件的自動工藝控制和監控功能，以提高晶片塗層工藝的準確性和可重復性。總體而言，STRASBAUGH 6 DS-SP是一種堅固、高精度的晶圓研磨、研磨和拋光資產，可對多種基材進行可靠、經濟高效的加工。通過其先進的過程控制算法、易於操作、安全特性以及對最新一代FEI技術的支持,6DS-SP非常適合各種微制造應用。