二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9210309 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是制造先進半導體和光電器件材料的最先進的「晶圓研磨、研磨和拋光」系統。它以高性能、經濟高效和穩健的方式設計用於生產應用程序。STRASBAUGH 6 DS-SP是在晶圓基板上實現卓越表面光潔度的可靠工具。6DS-SP包括四個不同的階段：研磨、研磨、拋光和二次研磨。在研磨階段，基板用金剛石浸漬的研磨盤或機械刷子磨損，以形成具有三維結構輪廓的平面，包括小的側翻不規則。該工藝設計用於重基板去除，以產生具有明確微觀和納米結構的初始測試條件（ITC）層。對於研磨階段，6 DS-SP采用厚膜研磨工藝，實現明顯的表面浮雕，並從晶圓表面去除不均勻、不規則的圖案。這個階段可以提供改善的基板平坦度和微粗糙度。拋光階段利用金剛石粘貼和/或三角形電極工藝，創建一個保形光滑、平整的表面，對總厚度變化（TTV）和根均方（RMS）粗糙度等關鍵參數進行精確控制。拋光工藝還能產生高反射性的表面光潔度。對於二次研磨階段，STRASBAUGH 6DS-SP可以針對需要超高基板平整度和均勻度的精密應用進行定制。它還允許利用額外的過程，如高密度-CMP樣的增長-平面化。總體而言,STRASBAUGH 6 DS-SP旨在為晶圓基板提供卓越的表面光潔度和高速計量性能。它具有多種研磨、研磨和拋光選項,具有可調參數,可用於切削邊緣材料的去除和基板表面的平面化。6DS-SP是半導體和光電器件工業生產的理想選擇。