二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9211915 待售
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ID: 9211915
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
CMP Polisher, 8"
Aluminum platens and lifters
Spare parts included
1996 vintage.
STRASBAUGH 6DS-SP是一種現代化的晶圓研磨、研磨和拋光技術設備。該系統旨在生產高性能矽片和MEMS組件，具有優越的產量和改進的器件特性和魯棒性。STRASBAUGH 6 DS-SP由研磨拋光平臺、主機箱和數字控制計算機組成。研磨拋光平臺是6DS-SP單位的核心。這臺機器由四個加工站組成，包括一個粗加工整理站、一個銀片站、一個金剛石圓盤站和一個真空站。粗加工和整理站有一個可旋轉高達250 RPM的研磨壓板。壓板還配備了可調節的傾斜機構，允許在不同方向和角度進行研磨和拋光。銀片站設有陶瓷騎行板，用於研磨和拋光晶圓表面。最後，金剛石圓盤站裝有塑化、冷卻劑饋送、旋轉驅動頭。該站用於整理操作，可達到高達10,000 RPM的速度。該工具的主底盤由耐腐蝕不銹鋼制成，設計用於耐用和在惡劣的工廠環境中可靠運行。它配備了冷卻風扇和三臺低壓步進電機來控制研磨板的傾斜和旋轉，以及金剛石盤站的驅動頭。數字控制計算機允許精確、自動地操作資產。它旨在為研磨和拋光工藝提供更高的精度和穩定性，並配有直觀、菜單驅動的圖形用戶界面，便於操作。6 DS-SP模型效率高,產量提高,產量和設備特性提高。也適用於高精度要求的MEMS元件的生產。該設備能夠高速運行，同時產生高質量的結果，非常適合用於生產半導體制造的矽片。
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