二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314673 待售

ID: 9314673
晶圓大小: 8"
CMP Polisher, 8" Spare parts included.
STRASBAUGH 6DS-SP是為半導體生產應用而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。STRASBAUGH 6 DS-SP由兩個獨立的工作區組成,每個工作區可以一次處理多個晶片。第一個區域執行研磨和研磨操作,而第二個區域提供精確的拋光。6DS-SP系統設計用於在各種基材上生產高拋光飾面,包括多種晶圓尺寸。6 DS-SP包括兩區工作平臺、轉子研磨單元、Rhodius拋光機、拋光床、旋轉頭、機械手臂和噴水刷容量。兩區工作平臺為基材加工提供了安全、符合人體工程學的工作環境。轉子研磨工具通過使用磨料研磨墊以及各種研磨和拋光工藝來去除基板的體積,從而獲得高質量的鏡面光潔度。Rhodius拋光資產旨在通過金剛石粉末和漿料進一步提高基材表面光潔度。拋光床提供平坦的水平表面,便於處理基板。它也是為快速去除和插入基板而建造的。旋轉頭通過快速的角度調整以及用於清潔和拋光的精確旋轉運動,可以實現有效的晶圓處理。機械手臂確保精確的基板處理,這使得基板的精確對準,以最佳的過程效率。噴水刷子的功能為清除汙染物提供了可靠的清潔解決方案。STRASBAUGH 6DS-SP模型旨在高效處理多個晶片,從而實現高吞吐量。STRASBAUGH 6 DS-SP提供半自動和手動控制,以控制基板加工。該設備還設計了一些安全功能,例如安全聯鎖,以保護操作員和基板。總體而言,6DS-SP是一個先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統設計的半導體生產應用。它為高效的基板加工提供了多種特點,其安全特點確保了安全的工作環境。通過利用各種工藝,6 DS-SP允許在各種基板上產生高度拋光的表面。
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