二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314675 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,其設計目的是為硬質和軟質基板提供高質量、表面光潔度的拋光,如矽、砷、石英和藍寶石。它能夠在任何給定循環上同時研磨、研磨和拋光2「-2.5」晶片。該系統提供了兩種不同的精密晶片制備平臺：一種用於小型基板，如纖維，另一種用於大型基板，如GaAs。STRASBAUGH 6 DS-SP單元由一個主控制單元以及各個子單元組成。主控制單元提供了一個用戶友好的界面，允許監視和管理整個機器。主控件還裝有為研磨、研磨和拋光機供電的電源單元。研磨、研磨和拋光機分為三類：研磨類、研磨類和拋光類。研磨類包括一個包括兩點工具的自動晶片裝載站，允許晶片定向，以及一個可編程的研磨室，可容納高達0.5英寸的深度，一次最多可容納8個晶片。它采用變頻驅動器設計,允許高達35000 rpm的轉速。研磨類能夠以各種不同角度同時研磨晶片的兩側。研磨類由一次最多可容納8個晶圓的自動加載器組成，並且可以對晶圓的兩側進行編程。在晶圓的平面上引入了一種可控的拋光漿液流動，使研磨具有更高的可控性和更低的循環時間。研磨類在旋轉的圈輪上運行晶片，以確保更高的平坦度。最後，拋光類采用電化學拋光或磨料拋光工藝，以達到更高的表面光潔度和減少缺陷。它包括晶片上的一層薄薄的高導電層，用於改進拋光作用，以及可一次容納多達8個晶片的可編程自動裝載機。6DS-SP是一種最先進的資產,可為各種應用提供受控、精確的晶片研磨、研磨和拋光。它令人印象深刻的速度、精度、模型控制和多功能性使其成為滿足各種晶圓需求的理想設備。該系統操作相對容易，為任何尋找完整晶圓研磨、研磨和拋光裝置的實驗室提供了一個很好的補充。