二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314680 待售

ID: 9314680
晶圓大小: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計精確度高,可靠性高。該系統具有全面的功能,能夠為復雜的晶圓處理應用提供可重復和一致的結果。STRASBAUGH 6 DS-SP具有輕巧的模塊化框架設計,使其易於配置並集成到現有的流程布局中。其高精度的結果得到了設備先進的晶片處理技術的促進,該技術可容納多達6個″晶片,並且可以進行微調以獲得可重復的結果。6DS-SP還配備了具有扭矩控制功能的強大的研磨、研磨和拋光電動機,確保了一致的結果而不犧牲精度。此外,6 DS-SP包括大直徑和延伸接觸區的集成空氣軸承,在研磨和研磨晶片時實現更高的精度和重復性。還對STRASBAUGH 6DS-SP進行了優化,使其具有全面的電氣和安全規範。STRASBAUGH 6 DS-SP能夠產生一系列有價值的結果。用戶可以利用機器的高扭矩馬達和空氣軸承,以及高達四分之一微米的高平整度和並行度來實現積極的庫存清除速率。該工具非常適合於最後階段的視力展平,特別是用於SOI晶片處理應用。為了保證最佳性能,6DS-SP配備了集成晶圓工藝控制資產。該型號采用數字顯示屏和觸摸屏,並具有直觀的圖形界面。它還提供了用戶定義的流程監控數據采集和顯示功能,用於實時流程反饋。通過利用設備的先進功能和集成過程控制系統,6 DS-SP為用戶提供了晶圓研磨、研磨和拋光應用的無與倫比的準確性和可重復性。因此,該系統已成為半導體行業合作夥伴尋求可靠結果的標準,且操作經驗極少。
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