二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314685 待售

STRASBAUGH 6DS-SP晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種最先進的系統,旨在方便在半導體和其他材料上生產高質量的拋光表面。該裝置非常適合在半導體、MEMS和光電晶片制造中進行研磨、研磨和拋光操作。STRASBAUGH 6 DS-SP機由6軸線性伺服電動機驅動器組成,可提供x、y和z運動能力,用於精密研磨、研磨和拋光操作。該工具能夠以高達0.001 μ m的高速和特征分辨率運行,以實現快速、精確的研磨、研磨和拋光。伺服馬達傳動為嚴格的過程控制和精度提供了極好的可重復性。資產采用了強大的雙面研磨研磨工藝。一個旋轉的晶片級定位在兩個研磨和研磨頭之間，可以相互獨立調整，分別驅動。這種雙面研磨工藝在晶圓表面上形成精確的鏡面光潔度。該模型還采用了新設計的壓板，該壓板旨在降低局部溫度和壓力，防止晶圓變形。該壓板由四個徑向臂支撐，可進行快速精確的研磨調整，並與晶片保持一致的接觸。6DS-SP還包括一個強大的拋光子系統。它由三個不同的拋光元件組成：一個旋轉板、一個粘合環和一個拋光墊。旋轉板和粘合環提供了一個可靠的，均勻表面的拋光墊上移動。拋光墊也可調節，在拋光過程中施加所需的力量。總體而言，6 DS-SP是晶圓等材料研磨、研磨和拋光的先進設備。它能夠快速準確地提供高質量的拋光表面,同時保持嚴格的過程控制。該系統具有先進的設計和特點，是半導體和光電晶片加工操作的理想選擇。