二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314687 待售
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STRASBAUGH 6DS-SP是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，設計用於精確、一致地生產半導體晶圓和其他剛性、扁平基板。該系統具有超低汙染加載到機械研磨/研磨階段的精密負載鎖、超清潔、壓力控制的單面機械研磨單元、單面、多頭、幹化學拋光機和高精度軋機/平面機主軸。負載鎖具有HEPA過濾、氮氣凈化的超低環境汙染環境。機械研磨/研磨工具能夠通過雙面研磨、研磨和雙面研磨在剛性表面上產生極低的表面粗糙度。機械資產還可以在拋光階段之前對一個亞微米粗糙度進行單面研磨。清潔站采用刷和真空作用防止交叉汙染。STRASBAUGH 6DS-SP拋光模型旨在實現高度一致、可重復的拋光過程,並具有最大的均勻性和控制性。該設備采用單面多頭拋光工藝，具有自動化、計算機控制的操作。幹化學拋光工藝能夠在整個基板表面上產生高超精度的平坦度，並且在橫跨晶圓的拋光工具中實現了高水平的均勻性。6DS-SP還配備了高精度的軋機/平面機主軸，其設計目的是減少微粒汙染，防止物質去除過程中產生微粒。軋機主軸經過精密加工,可提供超高精度的平面操作,並具有全動實時視頻監控系統,用於檢測和清除任何不需要的毛刺。最後，6 DS-SP配備了自動化處理單元，以確保晶圓和其他基板的可靠高效生產。基板的裝載、卸載和轉移可以很容易地實現自動化，機器提供了一系列的安全措施來防止汙染和損壞。自動化處理工具還采用直觀的用戶友好軟件進行設計,使資產的編程和操作變得簡單高效。
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