二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9314688 待售

ID: 9314688
晶圓大小: 8"
CMP Polisher, 8".
STRASBAUGH 6DS-SP是一種半自動化晶片研磨、研磨和拋光設備,設計用於處理各種材料,如矽、砷化氙和其他先進材料。STRASBAUGH 6 DS-SP采用了一系列先進的材料去除技術,包括電化學磨損,以及超聲波研磨和拋光,以獲得卓越的表面平面性和質地。6DS-SP包括兩個晶圓研磨/研磨主軸和一個拋光主軸。研磨主軸采用金剛石膠帶和金剛石膜研磨介質進行磨損基材料去除。金剛石膜通過熱固化技術粘合到柔性的旋轉或真空粘附的塑料背襯上。金剛石介質可應用於蝕刻或激光鉆孔圖樣,以提高紋理或表面平面度。6 DS-SP提供高達2500 rpm的一系列驅動器速度,是同類機器中最高的。這對於最大的加工效率是必需的,並且可以提高材料的去除率。該系統具有先進的保護措施,可以保護磨削表面免受軸軸的超出公差的振動和搖擺。STRASBAUGH 6DS-SP設計方便維護,晶瑩剔透的聚碳酸酯膜蓋提供無塵環境。研磨主軸負責晶圓研磨、研磨和拋光的第二步;利用矽溶膠和金剛石顆粒的漿料,研磨是一種強大的拋光技術,可產生優越的表面光滑度。STRASBAUGH 6 DS-SP研磨主軸具有可變連桿臂,可實現最大的靈活性和控制。連桿臂提供連續可變的旋轉、平面內和平面外運動,以確保均勻去除材料。6DS-SP拋光主軸是過程中的第三步,允許高速加工,拋光以提高表面光滑度,並增加材料去除。該裝置提供可變壓力,可提高材料去除的精度和控制。壓板運動次數、壓板速度和壓板壓力也可編程以提高柔韌性。6 DS-SP機器的設計能夠提供卓越的性能、速度和精度,同時仍然經濟且易於維護。這種晶圓研磨、研磨和拋光工具具有通用的紡錘和先進的特點,可用於加工各種材料,結果一致。
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