二手 STRASBAUGH 6DS-SP #9410927 待售

STRASBAUGH 6DS-SP是一種晶圓研磨、研磨和拋光（GL&P）設備,設計用於加工各種材料,從脆性基板到延展性基板,平整度和平行性低至1nm。該系統適用於多個行業的各種應用,包括半導體、醫療和數據存儲。該單元采用全自動、多軸控制,設計為最高精度和高性能,STRASBAUGH 6 DS-SP實現了<1 nm的絕對平面度和<5 µm的平行性。6DS-SP還配備了最先進的集成視覺機器,可在過程開發的各個階段實現高精度的對齊和測量。該工具采用獨特的工藝室設計，允許使用傳統和專有工藝處理不同的材料，如矽、玻璃、石英和其他無機基板。其強大的磨料漿料、主軸和真空系統可實現超精確的材料去除以及機械、化學和熱加工的結合。該資產既高效又安全，采用行業領先的安全和環境監測模式，監測空氣、溫度和濕度。它還包括一個帶有自動化工作場所清潔系統的視頻監測設備，以及一個振動進紙器，以盡量減少對加工室的小但必不可少的汙染。6 DS-SP設計用於處理200 mm和300 mm晶片,可根據需要進行縮放以處理更大的晶片。該單元為樣品保留機提供了靈活性,允許使用磁帶、安全或非安全格式。此工具非常適合用於研發、故障分析和生產GL&P應用,以及要求高精度GL&P且具有納米精度的技術。