二手 STRASBAUGH 6EC #141548 待售

ID: 141548
CMP system, 4" CMP Research, failure analysis, and low-volume production Semiautomatic operations via color touch-screen GUI VIPRR Carrier & hydro-lift load station Single table 22" Diameter polish platen Integrated pad conditioner Load/unload station with wafer rinsing Backside pressure control system Vacuum / fluids separation unit 6EC Manuals Option: (5) Carrier template for small samples: Configured for 2", or non-standard shapes and sizes Thickness and shape to be defined.
STRASBAUGH 6EC是一種在晶圓生產中提供無與倫比的表面光潔度的尖端晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統的設計目的是加快晶片的生產速度,並將研磨、研磨和拋光循環減少多達90%。STRASBAUGH 6 EC的模塊化設計為特定晶圓尺寸、形狀和厚度的定制和配置提供了靈活性。6 E C采用三相不銹鋼研磨工藝。這個過程由軟磨、中磨和硬磨、調理、拋光組成。軟研磨是該過程的初始步驟,在此過程中,樣品的表面是通過在任何顛簸或山脊處研磨而制得的。在中磨過程中,采用金剛石復合敷料環的高速圓晶片研磨臂最大程度地減少了表面的不規則性。硬磨階段是賦予晶片特定形狀和大小的地方。最後的調理和拋光階段使樣品有光澤和完美的光潔度。6歐共體采用獨特的自上而下的清潔方法。這種方法確保整個裝置得到高效和有效的清潔,同時通過防止顆粒釋放到生產過程中來盡量減少汙染。機器的高級安全功能還可以保護操作員在處理不同的材料汙染物時免受潛在的交叉汙染。STRASBAUGH 6 E C由直觀的觸摸屏控制面板控制,該面板具有完整的過程歷史記錄,並且數據存儲都是用戶可編程的。此控制面板還允許設置槽速、臺階間的停留時間、壓力範圍、砂礫大小和深度以及冷卻劑濃度。其他功能包括易於使用的可編程命令語言和重復過程的可自定義配方。總之,6EC是一種晶圓研磨、研磨和拋光工具,其設計目的是在生產高質量表面光潔度的同時減少晶圓的生產時間。此資產由高級直觀的觸摸控制面板驅動,該面板提供流程歷史記錄、數據存儲和可定制的配方。獨特的自上而下的清潔方法可以防止交叉汙染,同時有效地清潔。
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