二手 STRASBAUGH 6EC #293809254 待售

STRASBAUGH 6EC是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在提供生產和研究環境中的吞吐量和可重復性。這臺用途廣泛的機器能夠處理各種晶片，包括具有圓形和矩形晶片配置的Silicon、GaAs、GaN和Silicon Carbide。STRASBAUGH 6 EC由三個模塊化吊艙組成,為應用程序要求提供最大的靈活性。在研磨吊艙中，通過8個站的操作來實現快速的拆料，每個站包含兩個金剛石輪子，它們旋轉和振蕩以去除晶圓表面的材料。強大的電機和定制設計的車輪在磨削過程中可實現高效率和精確度。研磨吊艙具有精密的漿料輸送系統，將不透明或透明的研磨流體分配到晶圓的底面。晶片暴露在漿液中後，豆莢的實驗室技術人員使用最後的研磨工藝來提供均勻的表面。在拋光吊艙中，有8個站可以向晶片提供研磨和氧化銅漿料的組合，以產生優越的光潔度和優越的材料去除。活性漿液管理和負載單元可確保快速和可重復拋光,即使具有侵蝕性的漿液也是如此。吊艙之間完全集成的機械臂簡化了操作，方便了晶片的裝卸。整個6 E C結構，包括所有吊艙、電機、安全部件和其他組件，都被封閉在一個聲音阻尼櫃中，允許輕松融入現有生產線。機櫃還包括固態空氣過濾機，幫助捕獲和處置晶圓研磨、研磨和拋光過程中產生的碎片。為了提高安全性和便利性，還包括一個操作員界面，用於控制6 EC的操作。此接口允許技術人員輕松準確地控制流程參數、測試協議和其他操作參數。此外,該工具旨在提供高產產量和出色的操作可重復性。這臺用途極為廣泛的機器有效地處理各種晶圓尺寸、材料和配置,同時提供高生產吞吐量和最大可重復性..它非常適合在研發環境中進行低批量和中等批量生產。