二手 STRASBAUGH 6EC #293816891 待售

STRASBAUGH 6EC
ID: 293816891
Chemical Mechanical Planarization (CMP) systems.
STRASBAUGH 6EC是一種自動化的全程序晶圓研磨、研磨和拋光設備.這種高度精確的表面和研磨系統被設計成在晶圓上完成表面。它由四個主要控制器組成:表面光潔度控制器、方向/鎖定控制器、研磨/研磨控制器和拋光控制器。表面光潔度控制器是單元的核心,允許操作員從任何機械研磨、研磨和拋光問題中快速恢復,以及控制表面光潔度的所有樣品旋轉和設定點。它能夠進行3 D曲面剖析,並且一次最多可以剖析三個曲面。它還有一個步進掃描機,它依次走動檢查每個晶片的表面,從而最大限度地提高刀具的吞吐量。定向/鎖定控制器將晶片安全、精確地固定在適當的位置,確保無論晶片的位置或大小,都施加相同的壓力。它還提供了在樣品位置之間快速準確地切換鎖定機構的方法。研磨/研磨控制器使操作員能夠以獨立控制的線性和旋轉運動圍繞研磨/研磨板移動晶圓,並允許以恒定的力水平執行循環。此控件包含順序定格動作。拋光控制器用於對晶圓表面施加最終拋光。它能夠記錄每個樣品的最終拋光重量,同時考慮到被拋光材料的密度及其尺寸。該控制旨在使操作員能夠控制從低到高範圍內的拋光壓力。STRASBAUGH 6 EC是一種高度精確的資產,旨在平均分配表面研磨、研磨和拋光過程中施加在晶片上的壓力。6 E C具有四個控制器、連續定格運動、3 D表面輪廓以及控制拋光壓力的能力,為晶圓表面的處理提供了無與倫比的精度水平。
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