二手 STRASBAUGH 6EC #9105741 待售
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STRASBAUGH 6EC是一種自動晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於生產超導平面化表面。該系統包括可調節扭矩的兩級低頻研磨電動機，可實現快速、精確的平面化。外測控制單元通過保持恒定的進給速度確保兩側的均勻平面化。這臺機器是用集成磨料安裝在一個卡帶快速和容易轉換設計。STRASBAUGH 6 EC采用帶變速電動機的6口袋金剛石/碳化物磨輪。車輪的砂粒尺寸為0.3至0.7微米，用於精磨。可調節的進料輪可實現高速、低力研磨。晶片用真空卡盤固定在轉盤上，以確保均勻接觸和精確研磨。6 E C還包括研磨拋光站。該研磨板具有高速電機和可調頻率驅動器，以實現晶圓表面的均勻研磨。它采用考慮晶圓接觸面積和轉速的算法程序設計，以確保均勻完成。獲得專利的振蕩機構確保晶圓表面的最佳拋光。該工具還具有用於粗糙晶圓加工的漿料和清潔站。該設計允許對噴嘴進行簡單的更換,以便有效地清潔表面。該資產還設計用於收集廢渣和過濾雜質。6 EC采用用戶友好型HMI（人機界面）設計。圖形顯示以及操作員對話有助於進程操作。它具有一個按鈕控制面板，可以方便的參數調整和過程監控。該模型在Siemens S7-300控制器上運行,該控制器計算過程變量和實時數據。設備設計具有先進的安全監測和預防性維護能力，以提高性能和效率。STRASBAUGH 6 E C是一種簡化晶圓生產的多功能一體自動晶圓研磨、研磨和拋光系統。它具有很高的可靠性，為超細晶片提供精確的平面化。其先進的安全特性和用戶友好的HMI使其成為薄基板表面超精密平面化的理想選擇。
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