二手 STRASBAUGH 6EC #9112652 待售
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STRASBAUGH 6EC是一種堅固、通用且先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足最苛刻的基材加工需求。它具有連續可變的C軸、雙側臂架、優越的力和壓力控制能力以及快速準確的電子設備。STRASBAUGH 6 EC利用專利重復性交換算法進行更一致的操作。使用此功能,用戶可以創建自動工藝或多步驟配方,以精確、一致地研磨、研磨和拋光基材。工藝參數也易於編程,可以跨多個系統輕松共享,使得該系統非常適合大型生產設施。該單元包括各種設計精良的基材和材料。這些包括氧化鋁、陶瓷、氧化鎂、石英和藍寶石。此外,6 E C也經過了優化,可用於直徑最大為12英寸的采空區基板。對於自動裝卸,用戶可以利用集成機器人和手臂裝載機。STRASBAUGH 6 E C采用濕加工和幹加工兩種方法。在濕加工法中,將磨料漿泵送至基板表面,並利用其強大的離心力,創造出有效的研磨、研磨和拋光溶液。漿料然後排回加工室,減少了操作員幹預的需要。幹加工方法采用安全有效的蝕刻技術,進一步細化基板表面。6EC最令人印象深刻的特點之一就是它的高壓/高溫合規性。這使得機器能夠高效地和有效地處理基板表面而不會損壞它們。另外,6 EC利用其「冷」室最大程度地減少了基板表面的氧化。STRASBAUGH 6EC也非常可靠和耐用,具有自動自校準能力和強大的運動控制能力。該工具還擁有一個內置的因式和用戶定義配方庫,這大大減少了編程時間和工作量。STRASBAUGH 6 EC除了其所有高級功能外,還附帶了多種附加配件,包括金剛石工具、真空系統、冷卻系統和溫度校準配件。所有這些加起來使6 E C成為市場上最先進、效率最高的晶圓研磨、研磨和拋光系統之一。
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