二手 STRASBAUGH 6EC #9294178 待售

STRASBAUGH 6EC是一種可編程晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統有一個加工室，裏面裝有執行各種研磨、研磨和拋光功能所必需的工具。腔室配有180度旋轉磨橋、兩個可編程磨輪、兩個手動研磨板、兩個強制研磨環和三個15英寸拋光拋光輪。該工藝室有一個可調節的高度平臺，以容納一系列尺寸從35-110mm不等的基板。它還有一個用於精確、精確控制研磨和研磨工具位置的集成單元。磨橋能夠在圓周周圍容納多達12個工具，這些工具可以獨立或統一操作，從而能夠執行復雜的過程。兩個輪子和研磨板是可編程的，允許用戶精確控制速度、力、角度、時序等過程的各個方面。機器的拋光托架包含兩個強制研磨環和三個拋光輪。強制研磨環能夠施加高達3,000lbf的壓力，從而獲得最精確的研磨結果。拋光輪提供拋光基板與光學平坦度要求在等級1至5.此外，這些車輪能夠實現低劃痕表面表面處理，並具有低顆粒汙染水平。STRASBAUGH 6 EC工具由自動閉環控制資產驅動,該資產提供近乎實時的流程監控和反饋。該控制模型能夠有效地控制各種工藝參數，包括冷卻劑流量、扭矩、電流、力、溫度等。設備還支持對整個流程歷史記錄進行長期數據記錄，允許用戶監控流程性能。該裝置具有安全屏障和輕型窗簾等廣泛的安全功能。屏障的設計是為了防止意外接觸造成的傷害和設備損壞，而燈簾即使在機器運行時也允許繼續生產。該系統還采用直觀的用戶界面和可訪問的機械組件,便於安裝和維護,便於訪問和更換。