二手 STRASBAUGH 6EC #9294179 待售

STRASBAUGH 6EC是一個前沿,晶圓研磨,研磨和拋光設備.它旨在使矽片具有更好的平整度和表面光潔度，同時不受汙染、劃痕和其他缺陷的影響。STRASBAUGH 6 EC系統具有極高的精確度和效率,因為它可以在12個平面方向上實現比0.2 nm Ra更好的表面光潔度和3um的極緊3 sigma平坦度。6 E C由四個主要工作站組成，一個粗磨、一個晶圓研磨和脫孔、一個超細研磨和拋光以及一個清潔/幹站。粗磨站用於將晶片的厚度減小到所需的尺寸，有效地使晶片表面平整，且表面損傷最小。晶圓研磨除孔站設有磁性浮板，可快速清除泥漿和碎屑，快速交換墊片，提高效率，避免汙染。超精細研磨拋光站的設計實現了低於0.2nm RA的極高精度表面光潔度。它可以配置磁帶傳輸臂（TTA）或Pad傳輸臂（PTA）。最後,清潔幹燥站采用集成加熱幹燥裝置,可快速徹底幹燥晶片,共有八個噴嘴提供前沿清潔性能。6EC機還采用了多種自動化工藝，簡化了研磨、研磨和拋光工藝，優化了效率。具體來說，它有一個自動晶片定位和處理工具，自動調整尺寸的機制，晶片夾緊和松開，墊片和晶片傳輸，以及各種可視化和安全系統。整體資產還可以提供可靠、可靠和方便的維護體驗。總之，STRASBAUGH 6E C是一種現代、高性能的晶片研磨、研磨和拋光模型，旨在為矽片提供卓越的平整度和表面光潔度。6 EC具有強大的研磨、研磨和拋光功能,並具有自動化工藝和易於維護的功能,因此可以以無與倫比的精度和速度對任何類型的晶片進行研磨、研磨和拋光。