二手 STRASBAUGH 6EC #9398709 待售

STRASBAUGH 6EC是一種高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於需要精確表面光潔度和低表面排泄率的應用。該系統采用精確、堅固的兩級研磨平臺，將晶片磨削、拉圈和拋光至極高的表面質量。STRASBAUGH 6 EC配備了兩個壓板級，每個級都有一個直徑12英寸的穿越卡盤和一個低慣性熱板。該單元的第一級設計用於研磨晶片表面,以便在研磨和拋光之前創建具有高表面均勻性的鏡面光潔度。這是通過高精度進料控制完成的，可根據每個晶片的表面平整度要求進行可變調整。磨盤由外部自來水冷卻，並配有ZoneGuard碎屑控制機，以防止碎屑離開工作區。6 E C的第二級是高精度研磨階段，配有金剛石粉末或氧化鋁漿料等速變研磨/拋光介質，以實現最大的精加工控制。對壓板進行加熱或冷卻,以獲得最佳的光潔度和表面缺陷.再一次利用精密進給控制來保證精確的表面均勻性。平板裝有高效通風工具，可清除工作區內的廢舊介質顆粒，保持清潔的工作環境。使用用戶友好的PC界面以完全自動化的方式操作資產。用戶能夠存儲和召回過程參數，查看實時晶圓視頻和晶圓計量結果，並監控模型的狀態。最先進的機器人技術用於操縱設備中的晶片,以最小的手動操作確保最佳效果。這樣就可以實現快速、高效和可靠的流程,並最大限度地減少操作員的幹預。6 EC是一種功能強大、可靠的晶片研磨、研磨和拋光系統,具有出色的表面光潔度均勻性和較高的排便水平,並具有高度自動化的工藝優勢,從而提高了晶片的生產率並減少了對晶片的手動處理。