二手 STRASBAUGH 6EE #9412701 待售

STRASBAUGH 6EE
ID: 9412701
Polisher, 32", parts system (4) Motors.
STRASBAUGH 6EE是一種全自動、可編程的晶圓研磨、研磨和拋光設備。在低、中、大體積晶片要求的精細拋光以及研磨較小晶片和精密研磨等應用中,它是精密拋光的理想選擇。這種先進的系統可以快速設置,其設計目的是滿足不斷增長的對高容量吞吐量和準確性的需求。該單元具有三軸、計算機控制的定位階段,以獲得準確和可重復的結果。封閉式設計允許最佳研磨和研磨,最多八步,具體取決於應用程序。磨削和拋光過程的每個步驟都是在真空環境中完成的,以獲得最佳效果。該機還具有均勻的壓力控制,允許精確的步進控制,包括晶圓邊緣控制。使用單獨的可編程晶片保持卡盤可以處理各種形狀和大小的晶片和設備。這些卡盤還可以按需拆卸,以便於處理不同的尺寸、類型和厚度。刀具還包括一個表面光潔度測試儀,它精確測量表面光潔度和晶圓厚度。該資產能夠實現非常低的平均粗糙度值,以及在粗糙度測量中具有高可重復性的一致性。6EE易於與其他系統集成,例如過程監視、過程控制和數據記錄接口。它還為自動化後處理提供支持,包括向網站、印刷電子設備和其他外部地點傳輸數據。該模型旨在滿足高級研究和生產過程的需要,並提供可靠和準確的結果。它具有模塊化的設計和先進的特點,是晶圓研磨、研磨、拋光的理想設備。
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