二手 STRASBAUGH 6UR-1 #9070478 待售

STRASBAUGH 6UR-1晶圓研磨、研磨和拋光設備是一種最先進的設備,可對幾乎任何類型的基板進行專門處理,並具有最高質量、可重復的結果。6UR-1系統是一個全自動平臺，能夠研磨、研磨和拋光各種尺寸的晶片。該單元有四個加工室，每個加工室都裝有自己的一套專用精密研磨、研磨和拋光工具，以保持最高水平的可重復性，無論工藝如何。STRASBAUGH 6UR-1設計用於精確加工包括整體基板在內的所有類型的基板；或高達300毫米晶片，處理高達1英寸厚的晶片。6UR-1能夠執行廣泛的應用,包括CMP、CMP化學機械拋光、半導體應用納米技術、MEM （MicroElectroMechanical Systems）以及無線和電信組件的高級處理。所有STRASBAUGH 6UR-1自動化功能都旨在降低設置成本、提高生產效率和消除過程恐懼。6UR-1機器裝有一個裝卸站和一個完全可編程的機械臂，以提供晶圓的精確裝卸。機器人可用於將晶片從載荷站轉移到四個加工室中的任何一個，在這些處理室中，砂輪和研磨板都可以改變，以執行不同類型的過程。該工具還配備了能夠實現自動化過程控制的傳感器，為每個過程提供了最高的精度和可重復性。STRASBAUGH 6UR-1資產還具有自動數據采集功能,可提供實時流程跟蹤和分析。這允許使用壓力、水流/溫度、車輪/板RPM等一系列參數進行精確的質量控制和過程監控。這有助於減少工藝變化並最大限度地減少廢料。總之，6UR-1晶片研磨、研磨和拋光模型是加工多種基材的可靠、完整的設備。自動化的數據采集和機械臂提供準確和可重復的結果,同時允許實時反饋的過程監控和質量控制。該系統配備了四個處理室，每個處理室專用於一個特定的工藝，並且可以處理多達300 mm的晶圓，使其成為廣泛應用的最佳解決方案。