二手 STRASBAUGH 6ZR-1 #9095656 待售
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STRASBAUGH 6ZR-1是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,用於各種半導體晶圓加工應用。該系統旨在為要求苛刻的應用提供高精度和可重復的性能,跨越矽、石英、藍寶石和其他光電材料等材料。6ZR-1利用雙軸設計來優化臨界晶圓應用的表面光潔度、圓度和曲率半徑。STRASBAUGH 6ZR-1是一種提供精密表面研磨和拋光的單步工藝。該工藝采用高速電機和齒輪箱,具有快速、精確、高精度的晶圓研磨能力。6ZR-1采用變頻驅動器(VFD)和可變斜角設計,可對多種材料進行精確調整。重型、線性電動、雙軸驅動單元可實現均勻研磨和拋光效果。STRASBAUGH 6ZR-1機設計用於支持各種扁平研磨運動,包括軸向、徑向和平面運動。主軸和研磨板都是可調的,允許為不同的材料提供有利的工藝條件。可以使用集成視覺工具進行過程中的零件檢查,該工具能夠檢查研磨和拋光晶圓表面。6ZR-1資產還提供完整的過程自動化,內置控制和監控功能,用於研磨和拋光操作。這包括自動停止和自動重置等功能、可重復處理結果的過程特性、間隙崩潰保護等。總體而言,STRASBAUGH 6ZR-1提供了高精度和可重復的晶圓研磨、研磨和拋光模型。它旨在提供高質量、可靠和可重復的結果,並為要求苛刻的晶圓應用提供精確和可重復性。6ZR-1提供了一個單步過程,其中包括過程自動化和過程中零件檢查,以獲得最佳結果。
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