二手 STRASBAUGH 6ZR-2 #9221840 待售

STRASBAUGH 6ZR-2是一種設計用於精密半導體加工的高性能晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統采用6軸機器人平臺，可同時精確處理多達四個晶圓。它能夠處理所有晶片材料，包括矽、的、藍寶石和石英。6ZR-2為各種低粗糙度表面飾面提供研磨和拋光,並利用多種專有技術確保高工藝質量。該單元包括一個由固體工業鋁合金制成的最先進的機器人臂，包括一個用於晶片裝卸的內置機構。機器人手臂由高速步進電機驅動，該電機能夠提供極其精確和可重復的運動，從而能夠快速和精確地放置刀具。手臂設計高度可調，以適應各種晶圓尺寸和工作距離，其堅固的結構允許使用壽命長，維護最少。STRASBAUGH 6ZR-2還利用強大的磨料馬達，配備獨特的變速控制和電子傳感器，對磨料力提供精確的控制。此功能使機器能夠提供高度的過程均勻性。包括一個高架真空泵，以便能夠從工具和工作區域清除所有碎片，同時還能有效地操作研磨和拋光工藝。該工具還包括一個獨特的水槽類型的拋光頭，其目的是減少工作站停機時間。6ZR-2提供通用的控制功能,以確保最佳的可重復性和一致性。內置控制器提供了一個用戶友好的圖形界面，允許對過程完成和過程參數的存儲進行實時監控。此外，自動統計過程控制（SPC）分析確保了對研磨、研磨和拋光過程的嚴格控制。STRASBAUGH 6ZR-2是晶圓研磨、研磨和拋光的完整資產解決方案,提供精確的控制、可重復的結果和長期的可靠性。其堅固的結構、先進的特點和自動化的操作使其成為半導體應用的理想選擇，包括濕磨、幹磨和拋光。該模型提供了卓越的質量和精度，並確保提高任何晶圓制造工藝的吞吐量。