二手 STRASBAUGH 7AA #39287 待售
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ID: 39287
晶圓大小: 3"-6"
Fully automated wafer grinder / back grinder, 3"-6"
Specifications:
High precision, low stress vertical in-feed grinding method
For semiconductor materials and fragile materials
Capable of single and two-step grinding processes at high throughput.
STRASBAUGH 7AA是一種高性能晶片研磨、研磨和拋光設備,旨在為要求最苛刻的薄晶片級操作提供高效、準確和可靠的解決方案。該機采用旋轉轉盤設計,可同時研磨、研磨和拋光多達150個晶圓。月臺設有一對主研磨與研磨頭,各有127毫米車輪直徑,可變車輪轉速範圍50至400 rpm。另外,一對預磨機裝有50毫米車輪,可變車輪轉速為400至5000 rpm。堅固的雙頭設置可確保零件到零件和零件內的高可重復性,從而最大限度地提高產量。轉盤還裝有自動配藥系統和拋光板,配有可變螺距拋光頭。每個工作站配置有一個光學耦合的阻力單元,具有可調節的阻力,允許對工藝參數進行精確的控制,同時確保精確的晶圓級幾何形狀。可調節的螺距拋光頭,從25微米到50微米不等,提供精確的角度控制和沿全光柵圖案拋光。機器可以打開或關閉,以便於操作和維護。集成真空機允許對環境進行細粒度控制進行精確拋光,可以進行調整,以確保操作和工藝的一致優化。STRASBAUGH 7 AA配備了一臺高性能的計算機,可實現過程的完全自動化,並確保對晶圓研磨、研磨和拋光過程的快速、精確控制。此外,用戶友好、直觀的人機界面(HMI)提供了全面的工具控制和監控功能。該機器的設計可容納各種晶圓級應用,包括IC、CMP、MEMS和其他專業技術。先進的光學、電氣和熱系統可提供連續的過程監控和糾正措施,確保過程優化並提高產量。7AA具有可靠的性能、靈活性和準確性,是高精度晶圓研磨、研磨和拋光操作的理想解決方案。該資產提供了一個快速而強大的解決方案,用於在一個穩健、面向生產的平臺上生產高度統一和精確的晶片。
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