二手 STRASBAUGH 7AA #9124369 待售

STRASBAUGH 7AA是為各種半導體、MEMS、光電及相關器件的最佳表面光潔度而設計的精密晶圓研磨、研磨和拋光設備。它有多種配置,可根據特定的流程要求而有所不同。系統從一個晶圓架開始，該晶圓架最多可容納八個晶圓，直徑從100毫米到300毫米不等。它有一個符合人體工程學設計的操作員界面，提供運行多個進程序列的能力。晶片支架配有一個專利的「浮動」晶片安裝單元，可在堆棧中的所有晶片上提供穩定、可重復的結果。為了最大限度地提高生產吞吐量和工藝保真度，STRASBAUGH 7 AA采用了研磨和研磨操作的組合。磨削過程通過機器的兩個晶圓旋轉軸完成，使得三個同時操作。頂側旋轉金剛石圓盤將晶片的表面磨削成所需的形狀。第二個旋轉軸配置為真空升降機，從支架中取回晶片，並將其通過一系列直列研磨站移動。當晶片通過每個工作站時,將更改設置以滿足特定的晶片要求。對於研磨過程,7AA使用單面壓板設備。該裝置可根據需要容納金剛石化合物、碳化硼、玻璃珠、碳化矽等研磨材料。壓板裝置包括一組可調節的滾筒，以提供晶圓與研磨板之間的最佳接觸壓力。經過研磨和研磨操作，7 AA的拋光活動是通過使用三進位拋光工具或機械臂安裝拋光墊來實現的。拋光資產是一種緊湊的機械臂模型，設計用於各種拋光操作，如平面化、斜角化、倒角化、交叉艙口化等。三分壓墊是為微微拋光和宏觀拋光活動而設計的，並以專利的防滑材料為特色，使墊在拋光活動中保持與晶圓的接觸。STRASBAUGH 7AA也設計用於低維護操作。半透明的蓋子可以保護設備免受外部環境條件的影響,並最大限度地減少灰塵汙染。內置的微處理器可以編程為執行預定的過程,從而無需手動操作並確保跨多個產品的可重復性。STRASBAUGH 7 AA還具有一系列可選的附件,例如用於後處理沖洗和DI水的蠕動泵,或用於包含過程的HEPA過濾器。