二手 STRASBAUGH 7X #9280144 待售

STRASBAUGH 7X是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,設計用於生產高質量、無缺陷的晶圓表面。該系統適用於Si、AlN、GaAs、SiC、藍寶石、鐵氧體、熔融二氧化矽等多種基材的研磨、研磨和拋光。它是光通信、太陽能電池、功率放大器、MEMS等應用的理想選擇。7X裝置裝有一個環境控制狀態室，該室設計用於晶片的制備，因為它確保了良好的基板表面光潔度和可重復性。該機還具有可驅動至0.02 µm分辨率的高分辨率石英臺階表。為確保低顆粒汙染，桌子上安裝了多種固定裝置，使支架相對於虹膜載荷/卸載臂精確對齊。基座是一種高精度、三軸線性研磨機/研磨機，旨在提供廣泛的加工能力。C3000控制器中專有的STRASBAUGH開發的軟件允許精確的晶圓加載、研磨和拋光過程。大的工作包絡使工具可以靈活地處理從2「到8」的任何晶圓格式。此外，STRASBAUGH 7X還配備了一個自動檢查資產，旨在識別過程中晶圓上的潛在缺陷。為了保持過程中的清潔度，7X配備了自動清洗模型，確保薄膜殘留物或汙染物不會進入晶圓室。該設備具有高容量的水力旋流器分離器，用於清除加工區域的大顆粒和泥漿汙泥。此外，STRASBAUGH 7X還配備了自動清洗機制，確保每個加工周期都得到嚴格控制，最大限度地減少了空氣中的顆粒數。該系統除了控制研磨和研磨參數外，還利用閉環閉環控制和氣流技術提高了表面光潔度和幾何精度。總體而言，7X是一種有效的晶圓研磨、研磨和拋光裝置，設計用於可重復的高質量結果。它的過程控制、自動化和環境控制的腔室使其適合各種應用的精確需求。