二手 STRASBAUGH CCR-DC1 #9203073 待售
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STRASBAUGH CCR-DC1是一種高精度、最先進的晶圓研磨、研磨和拋光系統,設計用於在大面積晶圓上生產超光滑表面。CCR-DC1是半導體和先進晶圓制造市場的行業標準。STRASBAUGH CCR-DC1提供對工藝參數、最高精度和晶圓清潔度的全面控制。它由三個主要部分組成:一個壓板級、一個裝載臺和一個研磨/拋光室。壓板級用於加載和對齊晶片,而載荷表可確保晶片與研磨/拋光介質之間的最大表面接觸。研磨/拋光室為晶片的研磨和拋光提供了受控環境。CCR-DC1采用兩種研磨/拋光技術:金剛石研磨和拋光以及電化學拋光。金剛石研磨和拋光使用金剛石塗層磨料輪研磨和拋光晶片表面。它是一個批處理過程,能夠實現無與倫比的興奮劑不均勻性。電化學拋光利用電解溶液從晶圓表面去除金屬原子,產生超光滑表面。該系統還為用戶提供了廣泛的功能和功能,以最適合每個用戶的需求。采用碰撞檢測、材料監控和高級清潔周期等功能來確保最高生產水平。STRASBAUGH CCR-DC1還能夠控制關鍵的工藝參數,如溫度、壓力和時間,以優化晶圓表面光潔度。CCR-DC1是要求苛刻的晶圓銳化應用程序的完美系統,因為它提供了先進的軟件、無懈可擊的精確度、精確的控制和卓越的清潔度。它旨在處理各種各樣的應用,並在表面光潔度和晶圓特性方面提供一致的結果。
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