二手 STRASBAUGH Planarizer #9197592 待售

STRASBAUGH Planarizer是一款先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在提供高性能晶圓平面化和表面質量。該系統利用多個研磨和拋光站來提升器件層的表面質量，如氧化物、氮化物、多晶矽、鎢、金屬等專用結構。完全可定制的控制單元允許即時定制以匹配和滿足基板要求,從而為各種應用提供近乎完美的基板。Planarizer的主要部件包括均勻平衡、全密封的副板機。這種動態底板工具使用多個柔性氣瓶來保持和均勻地分布磨削和拋光壓力在整個磨削足跡和一致的整個磨削和拋光周期。它提供了對壓板平整度、研磨壓力、研磨拋光稠度等工藝參數的優越控制，創造出優越的成品晶片。在優化和自動化的基準識別機器人中，基板被移動到工藝的研磨和拋光階段。獨特的卡盤阻尼資產被設計成在整個基板表面均勻分布研磨和拋光壓力，同時消除由於屈曲或不均勻的研磨壓力造成的表面潛在缺陷。磨削和拋光由閉環反饋模型控制，以準確監測過程中的壓力和工藝參數。STRASBAUGH Planarizer還配備了用於驗證成品基板表面的高分辨率光學成像設備。該系統采用立體聲顯微鏡和獲得專利的亮場/暗場成像技術，為包括劃痕、非均勻性、步高、厚度、平整度等多種特征提供過程中成像和驗證，以及其他先進的表面粗糙度參數。Planarizer提供全方位的濺射和單面拋光解決方案,並具有定制的配置,以滿足特定於應用程序的工藝配方和需求。由於其獲得專利的臺式控制和自動基準識別機器人技術，它具有快速實施新工藝配方的能力。這些技術的結合使STRASBAUGH Planarizer能夠部署用於各種磨削和拋光需求。