二手 STRUERS RotoPol 35 / RotoForce 4 #9059386 待售
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ID: 9059386
Semi-automatic wet grinders / polishers
Includes heads and Rotocom-Multidoser attachments.
STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備,可為操作員提供一致、精確的表面光潔度並提高吞吐量。該系統專為半導體、MEMS和光伏市場的各種中低體積應用而設計,在這些市場中,嚴格的公差和優化的工藝速度對於生產成功至關重要。它是一個自動裝置,配有一個x-y雙旋鈕控制臺和一個可以容納250毫米晶圓的卡盤的仰角調整。它的機電設計允許對多達十二個晶圓級工藝步驟進行一致和受控的逐步研磨、研磨、拋光和最終拋光。RotoPol 35/RotoForce 4包括縱向臺式驅動器、帶有各自刀架的磨料墊架工具、氣動致動的頂部工具以及可編程的工藝參數設置。縱向臺式驅動器最高可運行5000 RPM,並通過易於使用的內置計算機界面進行控制,該界面用於設置機器參數,以實現一致的性能和生產優化。磨料墊架刀架同時容納金屬和聚合物的1-3個墊架,有助於提高晶圓加工的靈活性。它還具有氣動驅動的頂部工具,可編程,最多可提供10級幹預電動機,允許配置需要多級磨料和操作的過程程序步驟。STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4還具有方便的過程管理器,允許操作員保存處理說明、過程配方和機器的實時狀態。這臺機器高度可定制,可以與其他自動化設備(如機器人處理程序和測量工具)集成,從而可以集成到現有的自動化生產線中。用戶友好界面還允許操作員調整主軸速度、壓力、溫度等過程控制參數。總體而言,RotoPol 35/RotoForce 4是一種自動化、用戶友好的晶圓研磨、研磨和拋光機,可幫助在經濟高效的自動化生產線中始終如一地生產高公差工件。它提供了靈活性、準確性和可維護性。
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