二手 STUDER RHU 400 #9066964 待售

STUDER RHU 400是一種下一代晶片研磨、研磨、拋光設備，設計用於在晶片層中產生優越的平面化和熱膨脹系數（CTE）變化。該系統采用陶瓷塗層拋光板，以確保具有較高的表面光潔度和高度的平面化。RHU 400配備了先進的計算機控制單元，用於自動操作，允許根據所需的CTE減小和表面光潔度設置精確的研磨、研磨和拋光循環。該機600毫米直徑的晶圓架設計為在整個研磨、研磨、拋光過程中保持晶圓均勻平整，具有保持均勻、避免損壞的獨特氣壓特性。該工具還能夠處理高度變化的晶片厚度,因為它配備了伺服控制,可同時調節精度和速度。STUDER RHU 400具有自動化學洗滌器，用於去除晶圓中的雜質。此外，資產還配備了五種不同的拋光工具，包括磨盤、活塞研磨、刷子、不銹鋼柵格和鋁漿板。這些工具旨在實現最佳的表面光潔度和平面化。RHU 400還配備了自動感應槍，這是一種先進的數據收集裝置，用於監測整個研磨、研磨和拋光過程。該設備確保記錄所有周期時間,並自動進行統計過程控制（SPC）,以改進質量控制。STUDER RHU 400是市面上最先進可靠的晶圓研磨、研磨、拋光系統之一。它旨在提供卓越的CTE降低和表面光潔度,同時為過程控制和質量保證提供必要的數據。該模型采用自動傳感器技術和五種拋光工具，是大型晶圓制造應用的理想選擇。