二手 STUDER S20-OC #9052592 待售
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STUDER S20-OC是一種多功能晶片研磨、研磨和拋光設備,可根據配置處理200毫米至300毫米晶片或更大晶片。通過集成先進技術和基於軟件的創新控制系統,S20-OC系統旨在優化生產效率和正常運行時間,同時將成本降至最低。STUDER S20-OC具有高度模塊化、面向用戶的設計。功能包括全自動工藝室、直觀的用戶界面、精密伺服電機、高級傳感器以及用於精確晶圓對準和閉環控制的激光幹涉測量。該單元包括一臺主機,通過可編程邏輯控制器(PLC)連接到其他組件。S20-OC還配備了先進的晶圓研磨、研磨和拋光工藝機器。該工具能夠同時對多達8個晶片進行研磨、研磨和拋光,並具有預先設定的參數。這使用戶能夠對復雜的晶片形狀和尺寸進行高度精確的自動處理。該資產具有完整的過程控制和監控能力,包括過程參數測量、模型安全互鎖、晶圓負載測量、晶圓成熟和熱控制。此外,設備還可以保存多達25種晶圓類型的參數和操作順序,用於重復生產。STUDER S20-OC有一個高度自動化的工藝室,能夠經濟高效地進行晶圓的過程中和最終的清潔和幹燥。此外,系統還有一個簡單的用戶界面,可指導操作員設置設備和過程參數,並提供錯誤或機器故障的明確指示。S20-OC包含高級材料管理系統,使用戶能夠優化過程性能和產量。此外,該工具還配備了晶片的汙染證據指標,從而為故障排除提供了寶貴的工具。總體而言,STUDER S20-OC是一個極好的晶圓研磨,研磨,拋光資產是高度可靠和用戶友好。該模型可用於處理復雜晶圓幾何形狀和復雜結構,具有高精度和重復性。它高度自動化,過程參數和控制監控等智能功能提供了改進的過程控制。出色的材料管理、熱控制和汙染證據指標使用戶能夠更好地控制工藝產量。
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