二手 SUMITOMO 08E503 #293616746 待售

SUMITOMO 08E503是一種用於半導體生產的晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統適用於單面和雙面研磨,能夠產生高質量、低粗糙度的光潔度,具有極好的均勻性和最小的顫音。該裝置采用了最新的研磨技術，包括動態平衡的研磨主軸、可變高壓水噴嘴和強大的真空系統，具有優異的研磨性能。此外,08E503通過全自動加載和卸載提供了高吞吐量功能。SUMITOMO 08E503機非常適合用於許多不同的半導體生產過程，包括：晶圓研磨、研磨和拋光。該工具采用多種方法來達到適合先進集成電路使用的精加工質量水平。對於晶圓研磨，資產能夠處理高達6英寸的晶圓，最大載重力約為100公斤。研磨主軸由高速直驅馬達驅動，允許使用者選擇最高300°/秒的研磨速度。強大的真空模型確保了適用於單面和雙面磨削的高靜止持力。對於研磨,08E503使用多種精密加工方法,包括垂直研磨、即時研磨和單位置研磨。該設備具有用於均勻研磨流體的可變壓力噴嘴，可產生高達0.001 µm Ra的光潔度。可變噴嘴還用於研磨完成時將晶片從研磨表面提起。SUMITOMO 08E503還包括一個自動拋光系統，該系統能夠應用各種拋光化合物，這取決於所需的光潔度。該裝置裝有全自動拋光頭，每個循環最多可處理10個晶圓。精密的拋光頭能夠達到高達0.05 µm Ra的鏡面光潔度，是高精度半導體生產的理想選擇。綜上所述，08E503是一種多用途、可靠的晶圓研磨、研磨和拋光機，能夠產生高質量、低粗糙度的光潔度。該工具具有各種強大和先進的功能，非常適合半導體行業使用。