二手 TACCHELLA 2628 UMP #9052594 待售
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TACCHELLA 2628 UMP是一款最先進的機器人設備,設計用於晶圓研磨、研磨和拋光。它是一個組合的人機,因為它不是完全自動化的,但需要操作員幫助研磨,研磨和拋光過程。該系統由安裝在移動平臺上的機械臂以及用於處理和加工晶片的一組組件組成,包括磨輪、研磨和拋光頭。該單元裝有一個FANUC控制機器人,有兩個笛卡爾軸,設計用於三個維度的研磨、研磨和拋光頭的精確運動。機器人可以在X、Y和Z平面中移動磨頭,能夠精確控制運動的速度和方向,以及相對於晶圓定位和定向磨頭。該機器能夠處理直徑不超過8英寸的晶片,可提供非常高的精度和精密研磨,範圍為0.0004-0.0006密耳(切削深度)。這保證了晶片表面是表面磨碎到均勻的表面,沒有微裂紋或來自理想表面的像差。選擇若幹磨削和拋光工具以及研磨和磨料,使操作員能夠根據具體需要和要求對工具進行定制。除了磨削和拋光的平順性和準確性外,資產還具有廣泛的安全功能,例如當操作員按下手動控制按鈕或檢測到障礙物時停止的機械臂。此外,當研磨、研磨或拋光頭靠近晶圓邊緣時,還會有一個聲學警報模型來提醒操作員。總體而言,2628 UMP是一種高科技設備,大大提高了研磨、研磨和拋光工藝的準確性和可靠性,同時保持了操作員的安全。
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