二手 TAISEI GRI-2000 #9093455 待售

TAISEI GRI-2000是一種精密的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在產生最高質量和缺陷的自由拋光表面。它是專門設計用於需要拋光從單鍵或多鍵裝置技術產生的基板的應用。GRI-2000除了能產生較低的表面粗糙度（Ra）值外,還能產生較高的平整度和成品晶圓厚度控制。TAISEI GRI-2000由多個獨立的工藝部分模塊組成，可一次處理多達30個晶圓。每個工藝部分模塊包含多達4個晶片裝載站、拋光/研磨板、拋光漿料、拋光墊和拋光頭。拋光頭由變速、可變扭矩、直驅電動機驅動，確保晶圓在低速時精確接觸，同時保持有效的拋光速率。GRI-2000還包括一個集成的計算機控制系統，使用戶能夠編程和存儲過程參數，並在拋光過程中監控晶圓的進展。TAISEI GRI-2000的拋光頭包含一系列氣動臂，這些氣動臂提供驅動拋光頭靠在晶片上所需的壓力。氣動臂可調節,以適應拋光壓力的變化以及拋光通路的數量,以確保消除缺陷和保持一致的表面光潔度。此外,磁頭還具有一系列敏感的傳感器,使其能夠在拋光過程中測量晶圓的平整度,並根據響應調整拋光壓力。GRI-2000還包括一個高效的分離單元，它可以方便地拆卸和清理機器。這種高效的清潔方法確保從工藝中有效去除粘合劑和表面汙染物，使用戶能夠獲得一致和高質量的精加工。TAISEI GRI-2000的所有元件都是由高級不銹鋼製造，加工至4微米的公差，確保工具高度耐用。此外,還提供各種大小和配置的資產,使其能夠根據特定要求進行定制。總之，GRI-2000是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光模型，能夠產生高質量的表面並控制晶圓的厚度和平坦度。它非常適合要求對單鍵或多鍵裝置技術產生的基板進行精密拋光的應用。