二手 TAMUKAI TLP-9B #9224523 待售

TAMUKAI TLP-9B是一種自動晶圓研磨、研磨、拋光設備，旨在提供高通量和精確的工藝控制。該系統由振動臺、液漿機和兩個獨立的研磨和拋光頭組成。振動臺面可調節，便於單面或雙面晶圓研磨和拋光操作，並具有充分的振動控制。封閉式設計允許在研磨和拋光過程中有效地控制噪音和灰塵。研磨拋光頭具有獨立調節的自動跟蹤速度和線寬補償及壓力控制，保持晶圓表面精確的距離和壓力。漿料分離器能夠將一致和準確的濕漿料輸送到研磨和拋光頭,以防止過多或過少的漿料過早損壞晶片表面。TLP-9B設計了一個強大的電氣直接驅動，保證了一個全自動，操作獨立的過程周期，高工藝質量和可重復性。該單元還配備了與計算機兼容的流程監控單元以及用戶友好界面，使操作員能夠輕松快速地從中央顯示器和鍵盤輸入流程參數。此外，TAMUKAI TLP-9B機采用「自適應速度」技術，將每個研磨和拋光頭的速度調整到當前負載，以達到最佳研磨和拋光效果。這樣可以在不影響最終結果的情況下加快完成時間。TLP-9B是晶圓研磨、研磨和拋光的完美解決方案，因為它的功率、控制和精度。該工具非常適合那些希望在低維護和盡量減少材料浪費的情況下實現高吞吐量和卓越工藝質量的用戶。