二手 VEECO / ADVANCED IMAGING Custom #9122392 待售

VEECO/ADVANCED IMAGING Custom （AIC）是一種集成的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在滿足半導體器件研究和生產的要求。它是一個最先進的晶圓晶圓廠處理系統，旨在提供質量控制、成本節約和提高生產率。AIC單元可實現精確的光潔度特性,具有均勻的平整度和非常低的粗糙度。它利用具有完全自動化功能的單一交鑰匙機包,並內置自動卡帶加載和處理。AIC流程窗口經過優化,能夠嚴格控制流程時間和設置。它還包括一個獨特的晶圓支架工具和可調節的工藝頭，自動調整到晶圓直徑以獲得最佳性能。AIC資產由機械磨削和拋光模型、基於軟件的運動和過程控制器以及視覺和過程監控設備三大部分組成。機械系統提供精確的研磨和拋光操作，具有很高的精度。軟件用於控制設備的運動和自動過程控制。最後一個組件，視覺和過程監測機，在生產過程的各個階段提供晶圓表面的詳細圖像。機械工具包括變速電機、卡盤、真空資產以及可調節的磨削和拋光頭。它支持幹法和濕法加工，在操作過程中能夠改變研磨和拋光參數。該模型還具有研磨和高壓研磨工藝的選項。AIC設備中使用的基於軟件的控制器高度自動化和用戶友好。軟件允許用戶控制過程的各個方面，如拋光壓力、速度、方向和持續時間。控制器還提供了可調參數,可根據特定功能和需求調整過程。AIC單元中的視覺和過程監控系統使用了廣泛的光學和非接觸儀器來檢測和監控過程變量。該機器用於在整個制造過程中提供晶圓表面的實時視覺反饋。這使得流程優化能夠確保可重復性和最高效率。AIC工具被設計為提供高效、精確和可靠的半導體器件處理的多合一資產。憑借其集成的模型,AIC設備提供了卓越的質量性能、較低的總擁有成本以及顯著縮短的制造過程。