二手 VEECO / ADVANCED IMAGING Robo 4 #9241333 待售

VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4是一款最先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備，旨在滿足晶圓遠端切割、加工和拋光深度成像應用的最嚴格要求。它是一個模塊化的系統,可以利用其易於配置的界面進行定制,以適應任何生產過程。VEECO Robo 4旨在提供對速度、壓力、物料去除和過程監控等過程參數的卓越控制。它具有強大的5軸運動控制器和具有5個不同轉子的高速多軸運動單元，允許精確的過程控制。該機包括晶片的自動數控裝卸，以及晶片對準和背面清洗能力。它還包括一個可編程的Z軸級，用於加工和/或拋光後的晶片處理。ADVANCED IMAGING ROBO 4以其卓越的精度、準確性和可重復性提供卓越的過程魯棒性,同時保護晶圓免受熱、機械和化學損壞。Robo 4的機械設計確保了工藝環境的最高精度和穩定性。可編程壓力調節和空氣流量限制控制為介質選擇和研磨動力學提供了最大的靈活性。VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4還提供了卓越的工藝控制，使用戶能夠實時監控和調整所有工藝參數。過程中監控工具允許無傳感器、實時控制過程參數,如介質去除、研磨壓力和表面光潔度。使用溫度控制器和環境過濾器保護資產免受熱、機械和化學損壞。VEECO Robo 4為晶圓研磨、研磨和拋光應用提供了無與倫比的性能和可靠性。它具有先進的自動化、卓越的過程控制和一致的質量，非常適合大批量生產和可重復的過程。該模型是晶圓研磨、研磨和拋光等最苛刻的深度成像工藝的理想選擇。