二手 ADEPT S800 #9266596 待售

ADEPT S800晶片處理程序是一種全自動線性晶片傳輸設備,專為外延生長和再生長等高溫過程而設計。它提供了一種經濟高效的解決方案,可以以可重復的方式處理多種尺寸的晶片,包括200 mm和300 mm,並具有超低溫輪廓可變性和最高精度。S800采用模塊化線性設計,可方便地訪問零件和組件。它采用開放式封閉式框架設計，沒有裸露區域，可在晶圓傳輸應用中實現精確一致的溫度控制。該系統配置有機動線性傳輸模塊、導軌和導軌系統，用於精確的晶圓運動。傳輸模塊配備了高性能、低溫無刷電機和用於閉環反饋控制的高分辨率編碼器。該裝置還配備了一個精密的控制機器，旨在提高溫度曲線精度和減少變化。該工具具有集成的基於PC的數據記錄和跟蹤資產,使操作員能夠實時監視和控制晶圓移動、跟蹤晶圓溫度分布以及分析數據。控制模型可以定制，以滿足眾多應用的需求，包括半導體、MEMS和3D打印。ADEPT S800提供了多種功能,以方便快速和精確的晶圓傳輸。自動切割和尺寸檢測系統準確地識別晶片並將其放置在傳輸托盤中。設備還包括動態背壓控制、加熱的纖維室和不需要惰性氣氛的幹箱蓋。集成的晶圓裝載器和卸載器可在同一系統上實現高吞吐量晶圓傳輸。該單元旨在增加正常運行時間、減少手動操作和提高安全性。S800是用於高溫晶片處理應用的可靠且經濟高效的解決方案。憑借其先進的晶圓傳輸功能,該機器提供了支持許多苛刻過程所需的最高精度、可靠性和可重復性。