二手 AMAT / APPLIED MATERIALS FABS-202 #9166885 待售
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ID: 9166885
Wafer transfer station
APPLIED MATERIALS Endura etcher system
RORZE
Type no: OCRR8151-001-001
(10) Axes
RORZE Robot
Type no: RR700L120-Z30-011
RORZE Robot controller
Type no: CURR-1076-2.
AMAT（應用材料）/AMAT/應用材料FABS-202晶片處理機是一種機動化真空處理設備，設計用於將半導體晶片快速、精確地裝入高溫船用抽屜和爐中。該系統是生產和實驗室制造的理想選擇。AMAT FABS-202具有集成真空處理單元,具有可靠的晶圓與卡盤對齊功能。它具有單發晶片裝卸能力，可實現快速裝填和位置調整，確保精確對準。真空機由可調節的電動機轉速控制驅動，允許針對不同的芯片大小和類型定制晶片處理。一個獨立的真空工具允許定制的地面規則，促進單個晶片在平臺之間的高效移動。APPLIED MATERIALS FABS-202還包括一個「基本規則」函數，可用於設置特定於過程的加載參數，節省時間並提高精度。它還設計為簡化晶片加載過程，增加了一個完全可調的停止。這種停止可以調整，以減少晶片進出位置所需的時間，使得平行處理多個晶片成為可能。該單元有一個非常低的輪廓，允許在生產地板容易安裝。FABS-202帶有一個數字控制的z軸,用於精確控制晶圓高度。其圖形用戶界面（GUI）允許直觀操作和輕松查看參數,使用戶能夠快速調整設置以獲得最佳性能。它還配備了自動感應功能，在爐溫超過預設限值時關閉。該資產還包括一個緊急停止按鈕，允許用戶在緊急情況下關閉模型。AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202可用於多種熱過程,包括退火、產生過程窗口、高溫損傷測試等。該設備還配備了一系列安全功能，如自動過溫保護、下部電動機關閉、EMI屏蔽電動機以及低電平電壓斷開。此外,AMAT FABS-202已獲得CE批準並與ISO 9001標準兼容,使其成為一種功能強大且可靠的設備,可提供最大程度的安全性和可靠性。
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