二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 #157593 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 157593
Wafer transfer station
200VAC, 60 Hz
Includes:
RR304L120-123-001 ATM wafer handler robot, 1998 vintage
Controller.
AMAT/APPLIED MATERIALS Rorze RR6140是一種多功能的預對準和晶片處理裝置,設計用於對晶片進行高效可靠的處理。它用於晶圓運行和進給系統中的精確傳輸和索引晶圓。該RR6140是一個全自動單元，具有板載和自主計算機控制，PLC和觸摸面板。設備由兩個機械臂、一個多軸預對準器、一個晶圓傳感系統和一個控制單元組成。其直觀的界面提供了對預對齊器和晶圓處理功能的快速、方便的操作訪問和控制。RR 6140的六軸機器人手臂分別裝有一個大夾持器和一個小夾持器。武器的獨立移動提供了全程操作和交付能力，從而能夠快速和精確地裝卸晶片。根據應用程序的要求,武器可以協同工作或獨立工作。多軸預對齊器是RR6140的核心。它旨在檢測晶圓位置，為操作員提供與晶圓大小和位置相關的準確數據。該設備利用一個特殊的傳感器單元來精確測量晶片的尺寸、方向和偏斜。這些測量結果用於確定晶圓均勻對稱的預對準的適當位置。該RR6140針對潔凈室操作進行了優化，包括一個400毫米的轉運臂，帶有防塵密封結構和可拆卸的內板。它還包括一個內置的錯誤檢測機，監控晶圓處理和參數異常。該裝置配有一個SMIF室，用於確保晶圓狀態。該RR6140符合ISO 13485和CSA認證,旨在保證關鍵任務晶圓制造操作的長期耐用性和可靠性。該設備經過優化,以與業界最先進的流程環境兼容,並為快速設置和易於實施而構建。總體而言,AMAT Rorze RR6140是一種創新且可靠的晶圓處理解決方案,能夠在晶圓運行和進給系統中準確高效地傳輸晶圓。其直觀的設計和易用性使其成為晶圓制造操作的理想選擇。
還沒有評論