二手 AMAT / APPLIED MATERIALS VHP #293664316 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS VHP(真空處理器平臺)是一款設計用於半導體制造環境的高性能晶圓處理器。AMAT VHP專門提供200 mm和300 mm晶片在濕板凳、紡紗機、蝕刻機、金屬沈積工具和其他真空系統等工藝工具之間的傳輸。該系統使用真空握把頭進行防傻瓜晶片傳輸,並配備基於視覺的對準工具,在每個傳輸周期提供精確居中的晶片放置。APPLICED MATERIALS VHP提供了制造復雜集成電路的大量工藝能力。它的模塊化、可擴展設計使用戶能夠輕松地為電路制造工作流程中的特定流程構建系統。這種靈活性和可擴展性通過VHP同時控制多個過程工具的能力得到增強,如紡紗機、幹蝕刻等離子體、離子植入器和直接寫入工具。這種自動化控制功能使用戶能夠快速構建系統以實現高吞吐量和低浪費。在安全性方面,AMAT/APPLICED MATERIALS VHP包含了緊急停止按鈕、acut off監測和通知流程、緊急疏散控制、硬件和警報系統等標準安全功能。此外,AMAT VHP可以配置額外的環境安全系統,如強制空氣、潔凈室空氣流動系統以及過濾空氣通風的選項。APPLIED MATERIALS VHP在相對較小的占地面積內提供了大量的動力。控制系統包括帶有顯示顯示器的商用PLC、RS-232和以太網通信接口以及編程軟件。晶圓處理器也有廣泛的功率和電壓要求來處理單面和雙面晶圓。VHP旨在以經濟高效的方式為生產運行提供卓越的利用率和安全性。該系統旨在以高吞吐量處理大量晶片,但仍可靈活滿足不同的處理需求。AMAT/APPLIED MATERIALS VHP具有強大的設計和可靠的性能,是半導體和其他先進制造工藝的理想選擇。
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