二手 ASM DA 139F #9266304 待售

ASM DA 139F是一種先進的晶圓處理設備,設計用於安全高效地移動、旋轉、傳輸和加工直徑不超過300 mm的基板。它使用硬件和軟件的高級組合，為用戶提供更高的吞吐量和高級流程控制。該系統設計為同時處理多個基板，與所有主要晶圓和基板類型兼容，包括矽、陶瓷和金屬。該機包括兩個負載端口、一個高速平臺和一個冷卻風扇，用於控制基板的溫度。負載端口配備了低調的舞臺機架（LPR）。這樣可以將基板放置在精確的位置，從而提高基板裝卸過程中的精度。高速平臺是可調的，以適應不同的基板尺寸，並允許基板加工或旋轉在高達1.5度每秒。該裝置還包括一個機械臂，用於在精確編程的位置拾取和放置基板。機器人技術能夠執行各種任務,包括基板處理、高精度旋轉和產品分類。機器人能夠檢測基板之間的潛在碰撞，並采取適當步驟避免接觸。該機器與終端效應器無關，並且與來自不同制造商的各種類型的終端效應器兼容。該軟件套件集成到控制工具中,使用戶能夠根據自己的需要自定義操作序列並有效地監控資產性能。溫度和濕度監測有助於確保過程保持在所需的溫度範圍內，避免對基板造成任何損害。此外，該型號還配備了一大堆診斷和安全功能，如發生斷電或故障時自動關機。該設備還保存所有處理參數的記錄，並提供一個現有操作的綜合庫。綜上所述，DA 139F是一種頂級晶圓處理系統，旨在進行可靠高效的基板加工。該機器具有強大的機器人技術、定制軟件以及現代診斷和安全功能。該設備經過獨特的設計,可提供最大的吞吐量和質量,同時最大限度地降低成本和風險。