二手 ASM DA 139L #9266306 待售

ASM DA 139L是一種最先進的晶圓處理程序,可容納直徑高達8英寸（200毫米）的晶圓。它設計用於在載波和晶片盒式磁帶之間傳輸晶圓,用於制造、工藝開發和操作等多種用途。該設備具有IE-4500R機器人和EcoPlate （TM）晶片處理平臺,一次最多可提供四個晶片的移動和定位功能。它還包括自動加載軟件，該軟件可自動創建盒式磁帶中晶片的地圖，並允許晶片批次之間的快速轉換。能夠立即修改基材特定配方可以幫助減少批次之間的停機時間。DA 139L配備兩個卡帶；CLM-1300是連續的卡帶裝載機/卸載機,CW-1300是子拆分卡帶裝載機/卸載機。該CLM-1300采用高速50晶片裝載機和卸載機，用於單面或雙面晶片載波。CW-1300sub-split卡帶裝載機/卸載機用於主卡帶和子拆分卡帶之間的基板傳輸。此單元最多可處理兩個直徑為8英寸（200毫米）的晶圓,無需附加適配器或蓋。CW-1300的另一個獨特特點是能夠一次運輸多達五個晶圓載波，節省了寶貴的時間，降低了總體成本。ASM DA 139L還包括幾個安全功能，例如使用運動傳感器檢測異物對機器人手臂的任何撞擊並立即停止的電敏防護裝置（ESPD）。它的設計還包括一個過載傳感器，以及一個防止外界物體汙染和幹擾的冗余機器人手臂裙。總體而言，DA 139L設計為可靠、經濟高效的晶圓處理程序。該系統旨在輕松集成到現有晶圓處理系統中,並提供多種功能,包括與多種基板處理類型的兼容性、可配置的定向和處理模式以及可配置的自動序列。ASM DA 139L將為用戶提供可靠而強大的系統,幫助他們實現最高的效率和生產力。