二手 ASML AWH MK3 #9262329 待售

ASML AWH MK3是一種先進的晶圓處理機，設計用於半導體制造業。它設計精確度、速度和可靠性,以確保有效、快速、一致地完成從加工室裝卸薄片矽片的過程。AWH MK3具有先進的機器人晶片處理機制,能夠在加工室的心軸上精確、高速地放置晶片。機器人機械手由三連桿機器人臂、7軸定位機構和設備組成，在裝卸時精確檢測晶片位置。ASML AWH MK3還配備了許多先進的傳感器，包括紅外攝像頭、激光位移傳感器和圖像處理器，所有這些都用於在操作過程中精確檢測晶圓在心軸上的位置。AWH MK3還配備了先進的晶圓運輸設備，使晶圓從晶圓制造設施順利快速地運輸到加工區。運輸系統采用高速滾筒裝置，傳感器和激光傳感技術防止碰撞。該機每個循環最多可裝卸8個基板，非常適合大批量生產需求。此外,ASML AWH MK3還具有尖端的安全功能。這包括一個將所有電能與裝卸系統隔離開來的能源隔離工具，以防止危險的電力事故。機器還具有故障安全功能，防止機器人手臂在發生任何事故或故障時移動。AWH MK3還配備了廣泛的圖形用戶界面，使用戶可以輕松監控、控制和維護機器的運行。這包括具有直觀、用戶友好和交互式圖形用戶界面的「觸摸屏監視器」,使用戶能夠輕松維護、配置和校準資產。該機還兼容了廣泛的自動化軟件包和網絡接口，允許遠程訪問和控制模型。為了最大限度地提高ASML AWH MK3的性能、可靠性和安全性,已將全面的診斷和維護功能系統集成到設備中。這包括用於驗證系統性能的自檢功能、用於設置正確操作參數的自動校準以及用於檢測單元故障和故障的警報指示燈。AWH MK3是一種先進可靠的晶圓處理工具，專為滿足半導體制造業的苛刻需求而設計。憑借其高精度和速度、全面的安全功能和直觀的用戶界面，它讓用戶能夠輕松地、自信地準確加載和卸載晶片。