二手 ASYS LSB03 #9000005 待售

ASYS LSB03是一種高度可靠的晶片處理程序,旨在運輸和放置尺寸可達300 mm的晶片。它采用全自動晶片操作設備，能夠傳遞大小和厚度各異的基板。該系統旨在確保晶片放置的準確性和可重復性，以及較快的吞吐量和較長的使用壽命。該單元裝有一個拾取和放置轉移頭，它使用一個特殊的機器人驅動的手臂來安全地拾取每一個晶片並將其放入晶片盒式磁帶托盤中。拾取放置機器人使用定制設計的高速視覺機器，準確識別盒式磁帶中正確的晶圓，確定基板相對於機器人手臂的確切位置。晶片以每分鐘100-300份的速率精確放置在腔室中，定位精度小於0.02mm。ASYS LSB 03還配備了氣密蓋，以保護晶圓免受環境汙染。集成了真空工具，在必要時對晶片進行安全抓握，同時在晶片周長周圍設置一系列壓力傳感器，以確保精確和可重復放置。可選的冷卻設備允許基板的快速冷卻和溫度控制分布。這減少了冷卻所需的時間，因為多個晶片可以同時放置在單個冷卻板上。LSB03非常用戶友好,具有15英寸彩色觸摸屏顯示屏以及圖形用戶界面和直觀控件。該模型旨在與現有的ASYS自動化解決方案集成,提供額外的功能層和效率。該設備還支持遠程診斷和維護,有助於最大程度地減少任何潛在的停機時間。LSB 03非常適合需要快速、精確晶圓處理的應用，如半導體生產和晶圓級集成。該系統允許高吞吐量、提高生產率和提高準確性。適用於清潔室和真空應用，有單臂和雙臂兩種配置。